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株式会社モーショントラスト

MOTION-TRUST CO.,LTD.

身近にあるスマートフォンや自動車には半導体・FPDが組み込まれており、その製造過程には非常に微細な動作を行うステージが使用されています。モーショントラストでは要素機械でもあるステージを取り扱っております。
当社では微細な動作を実現させるために部材の強度・重さ・温度変化などの外部環境も考慮した機構設計や設計した部材同士を緻密に組上げる製造技術、ステージとして高精度な動作を行う制御技術を有しています。

ステージは縦・横・高さ・回転方向に移動するテーブルを有し、テーブルに搭載された加工対象物や検査カメラ等を素早く正確な位置に運ぶ機能を持ったもので、様々な装置の精度を保つための重要な役割を持った製品です。
ステージに搭載されたテーブルの位置決め精度を1nmにて動作保証する技術を保有しています。テーブルの動作精度を高めるために1nmの動作を検知する計測技術やpm(ピコメートル)単位で制御を行う独自技術が認められ、大手企業の次世代半導体製造装置に採用されています。